第2268章
國家超導約束聚能研究所。
源實驗室。
距上次EUV源功率實現35W穩定輸出功率後,後續的各項驗證實驗,也是進展頗為順利。
不過,李明白。
要想搞出最先進的刻機,且滿足以後更多的研究,單單是這個績,還是遠遠不夠的。
所以,在確定35W的輸出功率沒有任何問題後,他便組織團隊的員,繼續開展功率提升任務。
此刻。
。著行進的荼如火如正務任項各,裡室驗實
。況報彙時即邊一,驗實行進的張邊一們員究研
”!標超角散流束,W63至升提率功!告報“
”!降驟定穩焦聚,大擴續持角散!W73“
”!散發全完形束,持維法無W83,行不“
。安不與張抹一了多,音聲的員究研,控失始開驗實,升提的率功著隨
。斑的糊模散擴,碎手之形無被像卻刻此,針如聚凝本原點紅的流束子粒表代上幕螢,時此而
”。幕螢大到屏投料資將“
。道咐吩東啟曹
。屏大央中在投步同料資把刻立,員究研的隊團
。位錯與曲扭的小微生發正,下擊轟子粒能高的續持在格晶角六的完其,層塗烯墨石的面表件元學鍵關在蓋覆,下鏡微顯子電倍高
”!變畸格晶“
。重沉氣語,圖析分著指東啟曹
”。變改級米奈生發構結何幾,衡失力應熱格晶域區烯墨石致導擊轟,值閾過超量能流束子粒“
”。控失然自角散,力能向導確的子粒對它了壞破接直這“








