雖然刻機已經研發功了,可一想起過程,黎廣瀾依舊激滿滿:“這是我們集團第一款,也目前咱們國家當時第一款有完全智慧財產權的刻機,從源、到鏡頭,再到工件臺、測量裝備,無不凝聚著技人員的汗水……”
一談起刻機的研發過程,黎廣瀾的話匣子就關不上了,看得負責拜訪的記者,都有點容了:這老爺子,太有活力了!
當然,拜訪也會有重點。
出門的時候,電視臺的領導已經圈定了問題的範圍,比如193奈米刻機的後續產品,再比如,黎廣瀾在釋出會上放出來的一奈米的大衛星……
“黎院士,我記得您在星瀚集團新品釋出會上,提到了一個問題,集團公司正在進行1奈米刻機的研發?”
“對!”黎廣瀾神凝重地點了點頭,“我們在研發更高階,像是65奈米、45奈米,乃至二十三奈米刻機的時候,發現度到了一定程度之後,就很難再有提升,零件的度,鏡片的加工,都會影響產品的度……”
“因此,我們的技人員另闢蹊徑,想出了NIL刻工藝,相比於DUV工藝,NIL刻工藝無疑更有作,使用電子束雕刻掩版……”
雖然世界上大多數的刻機研發人員,都知道紫外線刻機的“進階”過程:不斷減源的波長,這樣的源,經過鏡頭系統的折之後,就能在微米乃至奈米尺度加工晶片。
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