傳統的接式刻機,向來只有一個矽片載臺,掩模版的對準與合全憑手穩,“差一,廢一片”的說法,正是這種作殘酷的真實寫照。
江夏前期設計的時候,可沒有翁師傅這種“鬼手”大師來個遂自薦。
為了突破接式刻的度瓶頸,江夏在設計時,搞了個雙平臺作!
一個是矽片載臺,用於承載和固定塗有刻膠的矽片。專門馱著塗了刻膠的矽片。要求賊變態,得能在X、Y、Z三個方向玩奈米級漂移還得保證絕對水平!
為了滿足,鏡面仙人可是費了不的功夫在這上面,差點把頭髮都磨禿咯。
想要達到效果,原本江夏還準備在平臺四角安裝上四個螺旋測微頭,這樣作員可以像調整機床夾一樣,過旋轉這四個微調旋鈕,對掩模版進行微米級的平面度矯正和微小角度補償,以對抗其自形變或安裝誤差。
度不夠,手來湊!
另一個是掩模版載臺,用於承載和固定掩模板。這個可就厲害了,它可以在X、Y、θ方向進行微調,並且備Z向的升降和力控制功能!
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