哪怕是擁有諸多支援,擁有大量的資源,研製刻機依舊是困難重重。
他指著學系統,說道:“DUV刻機需要由15-20個直徑200-300的鏡組的鏡組;
EUV刻機則需要由20多塊“鍋底大”的鏡片串聯組的反系統。
鏡面表面起伏要求極其嚴苛,如30c的鏡子起伏不超過0.3n”
“這一項技,目前在國,還沒有能實現。”
“更別說對學元件進行原子級度的拋和高度鍍……”
郭汝京一想到這些完全沒有儲備的技,就覺得頭腦發熱。
單一研製刻機的國家,基本不存在。
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