進車間之前,羅平一行人按要求上手機等個人品,清洗雙手後,赤腳進更區。
穿上包裹全的防靜電服,防靜電鞋,臉上帶好口罩,頭上戴的帽子要包裹住全部頭髮,穿戴好服後,雙手還要二次清洗烘乾,戴上手套經過防靜電測試,經過高風淋室除塵,過雙門互鎖的氣閘間,然後才能進生產車間參觀。
不只是他們這樣,所有人進無塵車間,都要嚴格遵循上述流程。
進車間,還要遵循嚴格的行為規範,減奔跑和大聲喧譁,儘量說話,不能到等等。
難怪要提前學習工藝流程,到裡面後,就不方便大聲解說了,主要靠自己看。
儘管都是無塵車間,還有不同的潔淨度等級,要求也不完全一樣。
前面的矽晶圓製備車間,要求ISO 6級潔淨度;中間最關鍵的晶圓製造車間,要求ISO 4級潔淨度,據說是最高潔淨度等級,裡面套一潔淨服不夠,外面還要套一層連無菌服,風淋室要清潔十五秒以上,人員進口與出口完全分開,要求更加嚴格。
晶圓製造是晶片生產過程中最複雜的環節,需要在前面製備的不足零點七毫米厚度,三百毫米直徑的矽晶圓上面,建造出數十億甚至數百億個電晶及互聯線路,將複雜無比的電路設計圖紙轉化為實實在在的理結構。
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