總不能什麼都讓競株同志從零開始,作為先輩,林雙芝覺得,得先給競株同志做點兒基礎工作。所以,就著眼前他們努力數年,才達的技果,國第一部接式刻機,很有些慨的開口。
“刻機算是我的老本行,我拋磚引玉,先給大家淺談一下刻工藝的原理,刻機刻制的電路是過在導電材料上施加刻膠,然後利用紫外線曝和蝕刻的方式來形導線和電子件的圖案。
大家可以想象一下膠片照片的沖洗,掩版就相當於膠片,而刻機就是沖洗臺,它把掩版上的晶片電路一個個的複製到刻膠薄上,然後過刻蝕技把電路“畫”在晶圓上。
這些導電材料可以是金屬或者半導材料,它們在電路中起到導電的作用。所以,刻機刻制的電路是能夠導電的,這樣能夠大幅度減各種複雜線路糾纏,
製作積電路晶片,我們首先要有能把電路圖的片狀材料,現在國際主流,是以高純度矽晶圓片作為晶片加工材料。
有了材料,我們就像木匠,需要找到稱手的工來雕刻圖案,要製部結構複雜且極其微小的晶片,對加工工的尺寸要求極高。刻機就是用作為這把刻刀,利用短波長的來實現極其細的加工。
我們希過學曝將圖紙上設計好的電路圖案轉移到矽晶圓上,但是不能對矽材料產生影響,所以需要藉助一箇中間材料,也就是能直接和相互作用的刻膠。
要讓實現圖案的資訊的傳遞,可以利用將完全擋住或完全過的方式產生明暗圖案。過帶有電路圖案的擋掩模版,可以複製掩模版的圖案資訊,最後和矽晶圓表面上均勻覆蓋的刻膠相互作用後,矽晶圓上出現了我們需要的圖案資訊。
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