他們太悉肖宿這個狀態了,這是他在深度思考數學問題時的專注模樣。
平時肖宿雖然話不多,但一旦進這種狀態,就意味著他發現了什麼值得深究的東西。
過了一會兒,肖宿才緩緩開口,聲音依然平靜,卻帶著某種確定的意味:
“他展示的第三組驗證資料,刻膠收率的修正係數,給的是0.47。”
肖宿頓了頓,似乎在組織語言,讓非專業的室友也能理解:
“在EUV刻中,刻膠曝後會發生收,這個收率需要確補償,否則圖案會失真。佐藤的框架裡,有一個專門的修正項來理這個問題。”
“他給出的資料是,在5奈米節點下,經過他的正則化框架最佳化後,收率修正係數可以穩定在0.47,波範圍小於±0.02。”
周宇軒聽得雲裡霧裡:“所以呢?這個數字有什麼問題?”
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