第585章 國產刻機崛起的希!高通?小丑罷了!
EUV源,即13。5奈米波長的極深紫外,是實現「超電路雕刻」的核心,直接決定了晶片的最小線寬。整合度與效能上限。
只需一次曝,就能把掩版上的電路圖,複製到晶圓表層。
而傳統的DUV刻機,需過「多重曝」,才能形晶片所需的細線路。
來說,就是要對同一區域的刻膠進行2到4次刻與顯影作,最終效果才相當於 EUV刻機一次曝所能達到的水平。
梁勁松從格羅方德。聯華電子手裡購買的NXT 1950i DUV刻機,雖然也能生產14奈米。乃至10奈米的晶片,但必須利用多重曝工藝。
然而,多次曝會導致刻步驟增加,生產週期變長。良品率驟減。本迅速上升,至要高個30%到50%。
這也是為何阿斯麥只要不向華國的Fab工廠出售EUV刻機,便能牢牢卡住整個半導行業脖子的主要原因。
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