第627章 難道沒有國外的技，我們就造不出EUV刻機嗎？
「又卡殼了？」
陳延森看完林南的彙報郵件，眉心微蹙。
他沒想到，自己都已經把大門踹開，為他們鋪好了路，這幫人卻還是沒能力往前再走一步。
當前的難點有兩方面：
第一，中繼鏡組中的非球面反鏡，需要將面形度控制在50皮米以下，表面糙度得低於0。1奈米的均方誤差。
換句話說，這相當於要求一塊徽安省大小的區域，整起伏不能超過一張A4紙的厚度。
難度可想而知！
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