經開區。啟棠科技碳化矽研發中心。
一樓的量產測試車間裡,氣氛比外面的三伏天還要焦灼。
三臺改造好的華科外延爐呈“品”字形排列。
陶安然手裡攥著一沓剛打印出來的測試報告,指關節因為用力而泛白。今天沒穿那件標誌的灰衛,而是套著嚴嚴實實的無塵服,只出一雙佈滿的眼睛。
“周總監!”陶安然的聲音穿了車間裡真空泵的嗡嗡聲,帶著明顯的怒意,“這三晶棒的資料我看了。兩完,一在生長中段出現了微觀應力裂紋。良率66%!”
把報告重重地拍在不鏽鋼作檯上。
“我早說過,這臺爐子的溫控曲線在1850度到1900度這個區間,熱場分佈有0.2度的延遲!必須在生長中段態調整氬氣流量,才能釋放熱應力!你為什麼把我的態引數改了恆定流量?!”
周德明站在作檯對面。
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