次日清晨,楚千瀾驅車抵達深藍半導。
二號生產樓的45奈米刻裝置正有條不紊地運轉,淡紫的極紫外束在晶圓表面勾勒出細紋路,而隔壁的28奈米刻產線則被安保守住了出口,空氣中瀰漫著張而肅穆的氣息。
王世傑、張北早已等候在觀察窗前,臉上難掩興與忐忑。
看到楚千瀾走來,兩人立刻迎了上去。
“楚總,裝置已完最後校準,源功率穩定在±0.2%,工作臺定位度達±0.001微米,各項引數均優於設計標準。”張北遞上資料平板,聲音帶著抑制不住的抖。
楚千瀾目掃過螢幕上跳的即時資料,微微頷首:“開始流片吧,重點監測良率與穩定。”
王世傑抬手示意,技人員立即按下啟按鈕。28奈米刻裝置發出低沉的嗡鳴,傳送臂準抓取矽晶圓,緩緩送預理模組。
極紫外源投出比45奈米裝置更細的束,在晶圓表面刻畫出複雜的電路紋路,每一道線條都銳利如刀,誤差控制在奈米級。
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