28奈米產線的機械臂正按預設程式準運轉,淡紫的極紫外束如同準的手刀,在晶圓表面刻畫出細的電路紋路。
每一片完流片的晶圓都被小心翼翼地送檢測裝置,螢幕上的良率曲線平穩上揚。
兩小時後,首批100片28奈米晶圓全部完流片。
王世傑重新整理資料平板,聲音帶著抑制不住的振:“楚總,最終良率穩定在93.7%,連續100片無任何裝置故障,穩定完全達標!而且線寬誤差控制在±0.0018微米,比設計標準提升了10%。”
楚千瀾接過資料平板,眸沉靜卻難掩鋒芒。
現在就達到了93.7%的良率,等以後各種條件再一些,良率還能在提升幾點。
“很好。”他抬眼看向王世傑與張北,語氣帶著明確的指令,“良率達標只是起點,接下來還要測試裝置的其他效能。
你們將生產出來晶片送到星源探索與繁星科技,等確認晶片沒有問題後,就量產一部分,順便測試刻裝置。”
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