滬城星源科技的學研究實驗室裡,林南正帶領團隊進行第三次穩定測試。
螢幕上跳的資料流顯示,13。5奈米波長的極深紫外輸出強度穩定在92%以上,能量轉換效率為7。1%,遠超阿斯麥所掌握的LPP源。
這個資料,已經達到了商用標準!
但接下來,還有很多巨大的挑戰和不確定。
比如,脈衝放電和等離子本會產生巨大熱量,旋轉靶和都需要極強的冷卻能力,目前的熱管理技就不匹配。
開闢一條新路,雖然可以獨,但配套裝置和技都得自己慢慢索。
道阻且長!
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