第611章 國產刻機的研發程序，至短了十年！
自從星源科技與華科協會下屬的電所，聯手研發出了『磁約束放電等離子源』（即P）技後，便開始著手攻克刻機的第二大技壁壘——學系統。
畢竟，單是『造出』還不行，還得『用好這束』，才能完晶圓曝，進而實現晶片的生產製造。
可讓陳延森頓無奈的是，國EUV源激發方式的主流研發方向，基本以雷產生等離子。放電等離子或者雷導放電等離子為主。
而星源科技學部絕大多數工程師的技能和專案經驗，都與研發需求不匹配。
所以在研發配套學系統時，進度極為緩慢。
要知道，EUV幾乎會被所有質吸收，因此無法使用傳統的玻璃鏡，整個路必須在真空環境中使用反式學系統。
收集鏡。照明系統。投影鏡系統。掩版和掩臺都得設計配套的技方案。
。價代有沒非並新創種這但，路新的特獨條一了出走實確技源VUE-P
。平掃去己自要都，礙障切一
。了絕就馬立，後度進發研的部學悉獲在森延陳
。步一出邁前往法沒都，年十。年五怕恐，路明條指人幫這給不若，楚清裡心他
。平水的隊團南林了估高他，說不得不
。展進毫無卻，天十五四了蹭足足，緣邊口路的確正在卻人等南林，案方技套配的單簡麼這，到想沒他
。」統系鏡集收圓橢掠層殼多「了出計設地蹄停不馬又，後0。1V）ss（思脈出發開在森延陳，是於
。裡統系明照至導引焦聚步初其將並，源VUE獲捕效高以可，子鏡層多的套一是上質本意玩這
。力能傷損抗和率效集收：個兩有要主點難
。級米微到達要都度準校度角的子鏡片每證保時同，構結接拼鏡多的雜複計設得就，率效集收升提想若，的散發方八面四向是線VUE為因是者前
。率效集收到響影而從，失線致導會都差偏的上度角何任，而然
。力能傷損抗的強超要需就這，度溫的高極生產會，後發激被源子離等為因是者後
。配適度角和率反化大最以，特等」擋遮無。純。勻。薄「備層多求要率效集收
。料材的層護保外額加增須必，」蝕侵耐。。厚「得又層多求要力能傷損抗而
。在所點難技的鏡集收是正也這但，盾矛很來起聽
。力能傷損抗與率效集收了衡平地好很便，」統系鏡集收圓橢掠層殼多「套這的計設森延陳
。束的勻均且率功夠足供提統系明照的續後為，點焦間中的遠到聚匯其將能還，VUE米奈5。31的生產靶錫屬金擊轟。電放衝脈率功高由獲捕效高夠能僅不
。時同此與
。地原了在愣就著接，眼一了掃匆匆先，後件文技啟開在，件郵加封這了現發就快很南林
。在帶附都型模法算演的準校差誤。表數引的藝工鍍連至甚，統系緩減屑碎場磁電和統系子理管熱。層塗反。料材底基到再，角。型構的計設學從，了整完太案方套這的來發闆老
。楚二清一得註標都率頻樣取。長波雷的用準校連就，案方決解的」準校時即涉干雷「了出給接直裡件文，題問」差偏度角接拼鏡多「的月個半了論爭部學前此
」！來出了寫案答把是直簡這「：發些有都音聲，起站地猛南林
？室驗實發研有另實其本資聯森，部學技科源星了除說是還，的來搶。的來買闆老是技套這，名署沒裡件文技
。著想思胡住不忍，上位工在坐南林
。森延陳和松勁樑過問就他，事的技源VUE-P次上
。底心在奇好子肚滿把能只也他，聽打瞎別他讓則森延陳，水霧頭一松勁梁
。了住不捺按又他，次一這可
。想多不他得不由，案方技的且整完套一是全完，了強太技的」統系鏡集收圓橢掠層殼多「是在實
。下放新重手右的機手著，聲一了笑苦後最，晌半沉南林
。案答有沒本說者或，說能不表代就，說想不人別，題問些有道知他
。會開員人發研心核集召忙連他，後隨
。騰沸間瞬氛氣的悶沉本原，時型模維三的」構結圓橢層殼多「中件文到看家大當，室議會
」？別區麼什有圾垃跟案方套那的前之們我，比法沒就，%08到升提能至率效集收樣這，度081到021全補鏡層外，度021到06蓋覆鏡層中，VUE的圍範度06心中獲捕責負鏡層「：道說幕螢著指師程工任主的組計設統系學
！統系子理管熱是的喜驚人眾讓更
。落層多致導高過度溫免避能又，擊衝溫高的子離等承能既，底基金合錸鉬的溫高耐配搭，構結冷水道通微嵌部鏡在出提中件文
」！了好算都度速流水。徑直的道通冷水連然竟案方套這，題問』傷損溫高『的心擔最們我「
。道說地激，頁數引藝工到翻師程工的組料材
」？嗎到達能置裝的們咱度這，積沉次08分法積沉雷衝脈用得還，以米奈1。0在制控差誤度厚的層每，層護保矽化氧二到層多矽鉬從，案方的層塗度梯個這！工林，了對「
