重生85搞芯片,我隨身帶着AI_第136章 紙面上的條件(1)

作者:一瓣酸橘子·1個月前

會議室裡其實不適合談“500奈米”。

牆皮老得發灰,窗風,風扇轉半天也趕不走紙張堆出來的悶味。可偏偏就是在這種地方,決定一條更先進的線能不能邁出第一步。

林婉兒把可研攤開,先沒說願景,也沒說“意義重大”。開口第一句就是:“我們現在能做的,是把風險拆開,把每一步的驗證目標寫清楚,做到失敗也知道錯在哪。”

顧專家靠在椅背上,手裡轉著筆:“你說得好聽。那我問你,第一階段你要驗什麼?驗到什麼程度算過?”

林婉兒不抬頭,首接翻到標了書籤的那一頁:“第一階段是關鍵工序視窗驗證。目標是做到線上寬、對準誤差、薄厚度均勻在可控範圍,並且有穩定的統計分佈。不是一兩片‘跑出來’就算過,要能連續跑完一個小批次,良率曲線有趨勢。”

省裡的那位專家馬上接話:“你說‘可控範圍’,範圍多?你別跟我說‘大概’。”

林婉兒停了停,沒報一個嚇人的數字:“我們把指標寫區間,區間來源不是拍腦袋,是對比我們現有線的能力邊界和裝置廠商能給出的規格。數值在附件西和附件六,您現在要看,我可以翻給您。”

把附件翻出來,紙頁嘩啦一聲。

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西DSE

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