“去年年底我們做了三組試驗：D1、D2、D3，分別調擴散溫度、時間和摻雜劑濃度，效果都不理想。”
劉教授翻到一段手寫的實驗記錄，筆跡工整，但能看出當時寫字的人有點著急，有的筆畫稍微重一點。
“後來，我們結合幾家國外公開的2μm CMOS工藝資料，又據這條線裝置能力，設計了第西組——D4。”
“我們把柵氧生長溫度略微上調，時間短，離子注劑量做了一次度比較大的掃網試驗，最後選了一組在我們真空水平下能穩定的工藝視窗。”
沈工哼了一聲：“公開資料哪兒來的？”
“過外貿公司和高校老師。”姚慶東搶著接話，“我們也不是完全關起門來幹。”
劉教授抬手，住了這點火藥味：“你們做了幾批D4？”
“從一月二十號到現在，一共做了六批完整工藝流程片。”林知涯答，“前三批做的是SRAM單元矩陣，後三批加了簡單MCU結構。前五批引數比較接近，第六批是在真空系統完全換新封圈後做的。”
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